真空煅烧炉如何检查泄露

真空炉泄漏检测方法主要有喷吹法和吸嘴法两种。传统的检漏方法是喷吹。这种方法是把炉膛抽真空，在炉外加氦气(例如，与氦质谱计相连)，然后观察结果。另外一种方法是吸嘴检测法，它适用于你的被试无法抽真空的情况。

使用这种方法时，你需要向被测物体充一种示漏气体，例如氦气。探测对象如热交换器，水冷法兰，水冷风扇和轴，电馈通，水套等。对被测物体充入示漏气后，用感应器检查其外部是否有气体泄漏。氦质谱也可以用来进行这种测试。

稀有气体的泄漏探测也非常重要。原因在于，从液体储气库到真空炉，整个充气系统的泄漏率必须为零。若惰性气体从供气系统或炉体上的气阀漏出，将使真空炉显示出抽气效果差、密封性差、真空度差，很难排出正常的气体释放、回流等错误迹象。

目前，对惰性气体泄漏有两种常见的检测方法，即薄膜(皂泡)检漏和真空检漏。在一般情况下，薄膜检漏方法较易高压惰性气体泄漏检测。这种方法用来喷出一种已知可疑区域的示漏液，如果任何检测位置都出现了气泡，你就可以知道找到了泄漏。

其准确性较高，为真空检测。该装置从真空炉中分离液氮或液氩存储系统，确保整个系统处于真空状态，然后利用氦质谱对系统进行泄漏检测。实施真空检漏时，应：

1.关闭外部空气阀门，使外置液体系统与蒸发器、充液罐、真空炉及所有配套的减压、回充管道分离。

2.用真空炉的普通抽气系统来抽真空炉膛。

3.对回灌槽进行减压操作。

4.手动给炉体内的回充阀供电，使之开启。这个步骤应该由有经验的专家根据安全规则进行。

当你打开充气阀并把充气罐减压至气压水平时，真空炉开始从管道里吸气。把气体储罐和蒸发器从外部气阀中抽出，直至关闭为止。这样你就可以用真空炉的抽气系统来抽气整个回充系统，使整个系统处于真空状态。下一步，你应该用氦质谱来检测系统的泄漏。在完成对真空炉及惰性气体泄漏的全部检测之后，每个泄漏都必须逐一清除。